حديثاً،أعلنت شركة ASML الهولندية العملاقة للطباعة الحجرية أنها ستعطي الأولوية لتسليم آلة الطباعة الحجرية فوق البنفسجية القصوى ذات الفتحة العددية العالية (HighNAEUV) الجديدة إلى شركة Intel.يُذكر أن،وتبلغ تكلفة كل آلة جديدة أكثر من 300 مليون دولار، مما يساعد صانعي شرائح الكمبيوتر على إنتاج أشباه موصلات أصغر وأسرع.
ونشر الحساب الرسمي لـ ASML على وسائل التواصل الاجتماعي صورة للمشهد. كما ترون في الصورة،يتم وضع جزء من آلة الطباعة الحجرية في صندوق واقي. الصندوق، المربوط بشريط أحمر، جاهز للشحن من مقره الرئيسي في أيندهوفن، هولندا.
"إن عقدًا من العلوم الرائدة وهندسة الأنظمة يستحق الثناء! نحن متحمسون وفخورون بتقديم أول آلة طباعة حجرية ذات فتحة رقمية عالية بالأشعة فوق البنفسجية إلى شركة Intel." قال ASML.
ومن المفهوم أن آلة الطباعة الحجرية فوق البنفسجية ذات الفتحة العددية العالية تكون أكبر من شاحنة عند تجميعها وتحتاج إلى تعبئتها في 250 صندوقًا منفصلاً للنقل، بما في ذلك 13 حاوية كبيرة.
ومن المقدر أن يتم استخدام آلة الطباعة الحجرية هذه في تصنيع الرقائق التجارية بدءًا من عام 2026 أو 2027.
المعلومات العامة تظهر ذلكتعد الفتحة الرقمية NA مؤشرًا مهمًا للنظام البصري لآلة الطباعة الحجرية، والتي تحدد بشكل مباشر الدقة الفعلية للطباعة الحجرية وأعلى عقدة عملية يمكن تحقيقها.
بشكل عام، بعد تقليل التباعد المعدني إلى أقل من 30 نانومتر، أي أن عقدة العملية المقابلة تتجاوز 5 نانومتر، فإن دقة آلة الطباعة الحجرية ذات الفتحة الرقمية المنخفضة ليست كافية، ولا يمكن استخدام تقنية التعرض المزدوج للأشعة فوق البنفسجية أو تقنية تشكيل الأنماط إلا للمساعدة.
وهذا لن يؤدي إلى زيادة التكلفة بشكل كبير فحسب، بل سيؤدي أيضًا إلى تقليل معدل العائد. لذلك، تصبح الفتحة العددية الأعلى ضرورية.
أعلنت ASML في سبتمبر أنها ستشحن أول آلة طباعة حجرية بالأشعة فوق البنفسجية ذات الفتحة الرقمية العالية، طراز "TwinscanEXE:5000"، بحلول نهاية هذا العام، والتي يمكنها تصنيع عملية 2 نانومتر ورقائق أكثر تقدمًا.